重大突破！第一台国产28nm光刻机将交付！

重大突破！第一台国产28nm光刻机将交付！

 

6月5日，据业内媒体消息，上海微电子装备(集团)股份有限公司披露，将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机！虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至5nm光刻机还有数代的隔阂，但是差距已经大大缩小，毕竟在此之前国产光刻机还是90nm。